Elektron siklotron mikrodalga plazma (ECR-MP) yöntemi ile farklı yüzeylerin karbon ve azot katkılı karbon filmler ile kaplanması

Coating on different surfaces with carbon and nitrogen doped carbon films by using electron cyclotron microwave plasma (ECR-MP) method

PDF İndir

Tez No: 634534
Yazar: ÖZLEM ÇELİKEL
Danışmanlar: PROF. DR. HAMİDE KAVAK
Tez Türü: Yüksek Lisans
Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
Yıl: 2020
Dil: Türkçe
Üniversite: Çukurova Üniversitesi
Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
Ana Bilim Dalı: Fizik Ana Bilim Dalı
Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
Sayfa Sayısı: 130

Özet

Bu çalışmada Elektron Siklotron Rezonans Mikrodalga Plazma (ECR-MP) yöntemi kullanılarak azot katkılı ve katkısız karbon ince filmler metal (çelik, diş teli, diş implantı, alüminyum), silisyum ve cam alt tabanlar üzerine kaplandı. Plazma oluşumu için metan (CH4) gazı kullanıldı. Farklı alt tabanlar üzerine büyütülen kaplamaların optik, yapısal- yüzey özellikleri belirlendi. Aynı zamanda metal alt tabanlar üzerine büyütülen örneklerin sürtünme ve aşınma testleri yapıldı.

Özet (Çeviri)

In this study, nitrogen doped and as deposited carbon thin films were grown by Electron Cyclotron Resonant Microwave Plasma (ECR-MP) method on metal (steel, braces, dental implants, aluminum), silicon and glass substrates. Methane (CH4) gas was used for plasma formation. Optical, structural and surface properties of coatings grown on different substrates were determined. At the same time, friction and wear tests of the samples grown on metal substrates were performed.

Benzer Tezler

Tez No
570478
Effects of electric field on the properties of carbon-based thin films deposited by electron cyclotron resonance microwave plasma (ECR-MP) system
Elektron siklotron rezonans mikrodalga plazma (ECR-MP) sistemi ile elektrik alanın karbon bazlı yarııletken ince filmlerin özelliklerine etkileri
WAFAA S.A. ABUSAID
Yüksek Lisans
İngilizce
2019
Fizik ve Fizik Mühendisliği Çukurova Üniversitesi
Fizik Ana Bilim Dalı
PROF. DR. RAMAZAN ESEN
Tez No
287133
Elektron siklotron rezonans mikrodalga plazma (electron cyclotron resonance mıcrowave plasma, ECR-MP) sistemi ile yarı iletken karbon bileşiklerinin üretilmesi ve karakterizasyonu
Production and characterization of carbon based thin films produced by ECR-MP plasma system
BİRSEN KESİK
Yüksek Lisans
Türkçe
2011
Fizik ve Fizik Mühendisliği Çukurova Üniversitesi
Fizik Ana Bilim Dalı
PROF. DR. RAMAZAN ESEN
Tez No
287157
Elektron siklotron rezonans mikrodalga plazma (ECR-MP) sisteminin optimizasyonu
Optimization of electron cyclotron resonance microwave plasma (ECR-MP) system
SAADET YILDIRIMCAN
Yüksek Lisans
Türkçe
2011
Fizik ve Fizik Mühendisliği Çukurova Üniversitesi
Fizik Ana Bilim Dalı
PROF. DR. RAMAZAN ESEN
Tez No
643829
Atmalı filtreli katodik vakum ark depolama ve elektron siklotron rezonanas mikrodalga plazma teknikleri ile karbon nanoduvar ince filmlerin üretimi ve karakterizasyonu
Production and characterization of carbon nanowall thin films by pulsed filtered catodic vacuum arc deposition and electron cyclotron resonance microwave plasma tecniques
BİRSEN KESİK ZEYREK
Doktora
Türkçe
2020
Fizik ve Fizik Mühendisliği Çukurova Üniversitesi
Fizik Ana Bilim Dalı
PROF. DR. HAMİDE KAVAK
Tez No
430209
Sers raman amaçlı altın ve gümüş kaplı alttabanlar üretimi ve MW ECR (mikrodalga elektron siklotron rezonans) yöntemiyle üretilmiş DLC ince filmlerde uygulanması
Production of gold and silver coated substrates for sers raman and application on MW ECR plasma system DLC thin films
ZEYNEP BAZ
Doktora
Türkçe
2016
Fizik ve Fizik Mühendisliği Çukurova Üniversitesi
Fizik Ana Bilim Dalı
PROF. DR. RAMAZAN ESEN

Geri Dön