Geri Dön

Elektron siklotron rezonans mikrodalga plazma (ECR-MP) sisteminin optimizasyonu

Optimization of electron cyclotron resonance microwave plasma (ECR-MP) system

  1. Tez No: 287157
  2. Yazar: SAADET YILDIRIMCAN
  3. Danışmanlar: PROF. DR. RAMAZAN ESEN
  4. Tez Türü: Yüksek Lisans
  5. Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
  6. Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
  7. Yıl: 2011
  8. Dil: Türkçe
  9. Üniversite: Çukurova Üniversitesi
  10. Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
  11. Ana Bilim Dalı: Fizik Ana Bilim Dalı
  12. Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
  13. Sayfa Sayısı: 90

Özet

Bu çalışmada, Elektron Siklotron Rezonans Mikrodalga Plazma (Electron Cyclotron Resonance Microwave Plasma, ECR-MP) sistemi gerçekleştirildi. Sistemin güç ve gaz akış oranı değiştirilerek plazma oluşma ve stabilizasyon koşulları belirlendi. Bu sistem kullanılarak cam alt tabanlar üzerine oda sıcaklığında karbon (C) bazlı yarıiletken ince filmler üretildi. Plazma oluşumu için metan (CH4) gazı kullanıldı. Bu filmler üretilirken, en iyi filmi üretmek için sistemin güç, basınç ve gaz akış oranı değerleri optimize edildi. Elde edilen karbon bazlı yarıiletken ince filmlerin optik ve elektriksel özellikleri incelendi.

Özet (Çeviri)

In this work, the Electron Cyclotron Resonance Microwave Plasma(ECR-MP) system was set up. The conditions for producing plasma and also for stabilizing the system were determined by changing the power of the system and the gas flow rate. The carbon based semiconducting thin films were deposited on glass substrates at room temperature by using this system. The Methane (CH4) gas were used to produce the plasma. During the deposition of the film, the power, pressure and gas flow rate values of the system were optimized in order to produce the best film. The optical and electrical properties of the carbon based semiconducting thin films prepared were investigated.

Benzer Tezler

  1. Effects of electric field on the properties of carbon-based thin films deposited by electron cyclotron resonance microwave plasma (ECR-MP) system

    Elektron siklotron rezonans mikrodalga plazma (ECR-MP) sistemi ile elektrik alanın karbon bazlı yarııletken ince filmlerin özelliklerine etkileri

    WAFAA S.A. ABUSAID

    Yüksek Lisans

    İngilizce

    İngilizce

    2019

    Fizik ve Fizik MühendisliğiÇukurova Üniversitesi

    Fizik Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. RAMAZAN ESEN

  2. Elektron siklotron rezonans mikrodalga plazma (electron cyclotron resonance mıcrowave plasma, ECR-MP) sistemi ile yarı iletken karbon bileşiklerinin üretilmesi ve karakterizasyonu

    Production and characterization of carbon based thin films produced by ECR-MP plasma system

    BİRSEN KESİK

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    2011

    Fizik ve Fizik MühendisliğiÇukurova Üniversitesi

    Fizik Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. RAMAZAN ESEN

  3. Elektron siklotron mikrodalga plazma (ECR-MP) yöntemi ile farklı yüzeylerin karbon ve azot katkılı karbon filmler ile kaplanması

    Coating on different surfaces with carbon and nitrogen doped carbon films by using electron cyclotron microwave plasma (ECR-MP) method

    ÖZLEM ÇELİKEL

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    2020

    Fizik ve Fizik MühendisliğiÇukurova Üniversitesi

    Fizik Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. HAMİDE KAVAK

  4. Atmalı filtreli katodik vakum ark depolama ve elektron siklotron rezonanas mikrodalga plazma teknikleri ile karbon nanoduvar ince filmlerin üretimi ve karakterizasyonu

    Production and characterization of carbon nanowall thin films by pulsed filtered catodic vacuum arc deposition and electron cyclotron resonance microwave plasma tecniques

    BİRSEN KESİK ZEYREK

    Doktora

    Türkçe

    Türkçe

    2020

    Fizik ve Fizik MühendisliğiÇukurova Üniversitesi

    Fizik Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. HAMİDE KAVAK

  5. Sers raman amaçlı altın ve gümüş kaplı alttabanlar üretimi ve MW ECR (mikrodalga elektron siklotron rezonans) yöntemiyle üretilmiş DLC ince filmlerde uygulanması

    Production of gold and silver coated substrates for sers raman and application on MW ECR plasma system DLC thin films

    ZEYNEP BAZ

    Doktora

    Türkçe

    Türkçe

    2016

    Fizik ve Fizik MühendisliğiÇukurova Üniversitesi

    Fizik Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. RAMAZAN ESEN