CFUBMS-HiPIMS tekniği kullanılarak Ta/TaN çok tabakalı kompozit ince film sentezlenmesi: Yapısal-mekanik ve tribolojik özelliklerin araştırılması
Synthesis of Ta/TaN multilayer composite thin film using CFUBMS-HiPIMS technique: Investigation of structural-mechanical and tribological properties
- Tez No: 794706
- Danışmanlar: PROF. DR. İHSAN EFEOĞLU
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Makine Mühendisliği, Mechanical Engineering
- Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
- Yıl: 2023
- Dil: Türkçe
- Üniversite: Atatürk Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Makine Mühendisliği Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: Belirtilmemiş.
Özet
Sanayileşmiş toplumlarda, makine ve biyolojik sistemlerin ömrünü uzatmak, motor ve cihazlarının verimini artırmak, mevcut olan yetersiz materyal kaynaklarını korumak, enerji tüketimini azaltmak ve güvenirliliği artırmak gibi nedenlerle sürtünme ve aşınma gibi tribolojik olayları kontrol altına almak büyük önem arz etmektedir. Tarihsel olarak tribolojistler, yukarıda bahsedilen tribolojik problemleri kontrol altına almak amacıyla malzeme türlerinde, üretim tekniklerinde ve yağlama teknikleri gibi alanlarda gelişmeler ve değişimler gerçekleştirmişlerdir. Malzeme yüzeylerinin birçok mühendislik elemanın içerisinde en önemli nokta olmasının bilinmesiyle birlikte, yüzey teknolojileri konusunda atılımlar gerçekleşmiş ve yüzey mühendisliği adıyla yeni bir disiplin ortaya çıkmıştır. Yüzey mühendisliği adı altında, yeni teknik ve teknolojiler kullanılmakta ve malzemede meydana gelen sürtünme, aşınma, yorulma ve korozyon gibi hasarların birçoğu ortadan kaldırılmaya veya azaltılmaya çalışılmaktadır. Bu tekniklerin başında ise yüzey kaplama teknikleri gelmektedir. Bu çalışmada, Kapalı Alan Dengesiz Manyetik Alanda Sıçratma (CFUBMS) ve Yüksek Güç Darbeli Manyetik Alanda Sıçratma (HiPiMS) hibrit sistemi kullanılarak, 52100 taban malzeme yüzeylerine Ta/TaN çok tabakalı kompozit yapıda ince filmler biriktirilmiştir. Sentezlenen Ta/TaN çok tabakalı ince filmlerin yapısal-mekanik ve tribolojik özellikleri incelenmiştir. Yapısal özelliklerin karakterizasyonunda Taramalı Elektron Mikroskobu (SEM), X-Işını Difraksiyonu (XRD) teknikleri, mekanik özelliklerin analizinde Mikro-sertlik, Çizik testleri ve son olarak tribolojik özelliklerin karakterizasyonunda ise pin-on-disk aşınma testi kullanılmıştır.
Özet (Çeviri)
In industrialized societies, it is of great importance to control tribological phenomena such as friction and wear, for reasons such as prolonging the life of machinery and biological systems, increasing the efficiency of motors and devices, protecting existing insufficient material resources, reducing energy consumption and increasing reliability. Historically, tribologists have made improvements and changes in material types, production techniques, and lubrication techniques to control the above-mentioned tribological problems. With the knowledge that material surfaces are the most important point among many engineering elements, breakthroughs have been made in surface technologies and a new discipline has emerged with the name of surface engineering. Under the name of surface engineering, new techniques and technologies are used and many of the damages such as friction, wear, fatigue and corrosion are tried to be eliminated or reduced. One of these techniques is surface coating techniques. In this study, Ta/TaN multilayer composite thin films were deposited on 52100 substrate substrates using a hybrid system of Closed Field Unbalanced Magnetic Field Sputtering (CFUBMS) and High Power Pulsed Magnetic Field Sputtering (HiPiMS). The structural-mechanical and tribological properties of the synthesized Ta/TaN multilayer thin films were investigated. Scanning Electron Microscopy (SEM), X-Ray Diffraction (XRD) techniques were used in the characterization of the structural properties, Micro-hardness and Scratch tests were used in the analysis of the mechanical properties, and finally, the pin-on-disc wear test was used in the characterization of the tribological properties.
Benzer Tezler
- Dubleks yüzey işlemi uygulanmış AISI 5140 çeliğinin yapısal, mekanik ve tribolojik özelliklerinin belirlenmesi
The Determination of structural, mechanical and tribological properties of AISI 5140 steel applied duplex surface treatment
AKGÜN ALSARAN
Doktora
Türkçe
2001
Makine MühendisliğiAtatürk ÜniversitesiMakine Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. AYHAN ÇELİK
- Darbeli-DC güç kaynağı kullanılarak CFUBMSIP ile büyütülmüş MoS2-Ti kompozit filmlerin yapısal, tribolojik ve mekanik özelliklerinin karakterizasyonu
The Characterization of structural, tribiological and mechanical properties of MoS2-Ti composite films deposited by CFUBMSIP using pulsed-DC power supply
FERHAT BÜLBÜL
Yüksek Lisans
Türkçe
2002
Makine MühendisliğiAtatürk ÜniversitesiMakine Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. İHSAN EFEOĞLU
- MoS2-Ti kompozit ince filmlerin farklı çelik türleri üzerine PVD ile kaplanması: Mekanik-tribolojik-yapısal özelliklerinin karakterizasyonu
Deposition on different steel types of MOS2-Ti composite thin film: Characterization of mechanical-tribological-structure properties
ERSİN ARSLAN
Doktora
Türkçe
2003
Makine MühendisliğiAnkara ÜniversitesiMakine Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. İHSAN EFEOĞLU
- Dubleks yüzey işlemi uygulanmış AISI 316L paslanmaz çeliğin mekanik ve tribolojik özelliklerinin incelenemsi
Investigation of mechanical and tribological properties of duplex-treated AISI 316L stainless steels
YAPRAK ARSLAN
Yüksek Lisans
Türkçe
2005
Makine MühendisliğiAtatürk ÜniversitesiMakine Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF.DR. AYHAN ÇELİK
- Darbeli-DC manyetik alanda sıçratma yöntemi ile kaplanan TiB2 ve Me-DLC filmlerin mekanik, yapısal ve tribolojik özelliklerinin araştırılması
The investigation of mechanical, structural and tribological properties of TiB2 and Me-DLC films deposited by pulsed-dc magnetron sputtering
FERHAT BÜLBÜL
Doktora
Türkçe
2006
Makine MühendisliğiAtatürk ÜniversitesiMakine Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. İHSAN EFEOĞLU