AlInN HEMT temelli yapıların noktasal yapı kusurlarının incelenmesi
Investigation of strutural point defects of AlInN HEMT based structures
- Tez No: 923566
- Danışmanlar: DOÇ. DR. YUNUS ÖZEN
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
- Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
- Yıl: 2025
- Dil: Türkçe
- Üniversite: Gazi Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Fizik Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: Belirtilmemiş.
Özet
Bu tez çalışmasında, GaN/AlInN/AlN yüksek elektron hareketine sahip transistör (HEMT) yapı örnekleri“Metal Organik Kimyasal Buhar Biriktirme Yöntemi (MOCVD)”kullanılarak Al2O3 üzerinde büyütüldü. Büyütülen örneklerin yapısal mozik kusurları“Yüksek Çözünürlüklü X-Işını Kırınım (HRXRD)”cihazı ile incelendi. Eğim açısı, yanal ve dikey mozaik kristal boyut, vida ve kenar dislokasyon yoğunlukları In değerine bağlı olarak Wiliamson Hall (WH) metodu kullanılarak saptandı. Değişik In oranlarında kusurlar artan veya azalan eğilimler sergiledi. Büyütülen tabakaların uygun sıcaklıkta uygun büyütme oranına ulaştığı gözlemlendi. Örneklerin yüzey morfolojisi atomik kuvvet mikroskopisi (AFM) yöntemi ile optik karakteristik özellikleri Raman Spektroskobisi ve Fotoluminesans (PL) ölçme tekniği ile gerçekleştirildi. Örnekler için epitaksiyel tabakaların kristal kalitesinin B, A ve C örneğine göre düştüğü görüldü.
Özet (Çeviri)
In this thesis, GaN/AlInN/AlN high electron mobility transistor (HEMT) structure samples were grown on Al2O3 using“Metal Organic Chemical Vapor Deposition Method (MOCVD)”. Structural mosaic defects of the grown samples were examined with“High Resolution X-Ray Diffraction (HRXRD)”device. Inclination angle, lateral and vertical mosaic crystal size, screw and edge dislocation densities were determined using the Wiliamson Hall (WH) method depending on the In value. Defects exhibited increasing or decreasing trends at different In ratios. It was observed that the grown layers reached the appropriate growth ratio at the appropriate temperature. The surface morphology of the samples was carried out by atomic force microscopy (AFM) method and optical characteristic features were carried out by Raman Spectroscopy and Photoluminescence (PL) measurement technique. It was observed that the crystal quality of the epitaxial layers for the samples decreased compared to the B, A and C samples.
Benzer Tezler
- Yeni Cami'nin akustik açıdan performans değerlendirmesi
Evaluation of the acoustical performance of the New Mosque
EVREN YILDIRIM
Yüksek Lisans
Türkçe
2003
Mimarlıkİstanbul Teknik ÜniversitesiMimarlık Ana Bilim Dalı
PROF. DR. SEVTAP YILMAZ DEMİRKALE
- Diesel motorları yakıt püskürtme sistemlerinin dinamik simülasyonu
Başlık çevirisi yok
İRFAN KARAGÖZ
Yüksek Lisans
Türkçe
1986
Makine MühendisliğiUludağ ÜniversitesiMakine Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. OĞUZ BORAT
- Landsat uydusu aracılığı ile elde edilen görüntülerin sınıflandırılmaları ve bunlara ilişkin bilgisayar programlarının hazırlanması
Başlık çevirisi yok
G. FERZAN KÜÇÜKA
Yüksek Lisans
Türkçe
1985
Bilgisayar Mühendisliği Bilimleri-Bilgisayar ve KontrolEge ÜniversitesiBilgisayar Bilimleri ve Mühendisliği Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. HALİS PÜSKÜLCÜ
- Makro besin elementlerinin (NPK) İzmir'de Mayıs ayında açığa dikilen 4-6 cm çevre büyüklüğündeki Gladiolus cinsine ait“hunting song”ve“Novalüx”kültür çeşitlerinin yumrularının gelişmeleri üzerine etkileri
Başlık çevirisi yok
TAHA ALİ AMEN
Yüksek Lisans
Türkçe
1985
ZiraatEge ÜniversitesiPeyzaj Mimarlığı Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. ADNAN HATİPOĞLU